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| ■検査機 |
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基板穴検査機 - |
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PWB製造工程改善に効果、レーザVIAへ適用拡大
この一台で精密測定と量産工程へ適用が可能
解析ソフトの拡張により基板穴加工のあらゆる場面で活躍 |
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| 豊富な解析ソフト |
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| 位置誤差 |
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| ヒストグラム |
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外観検査機 - |
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L/S40 の微細パターン配線版を高速で検査 |
| 1台3役の優れもの ALL-in-one
concept |
| (1)CAMデータダウンロード機能 |
| (2)パターン検査機能 |
| (3)欠陥対比照合機能 |
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| ■露光機 |
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デジタルダイレクト露光機 - |
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マスク不要、高信頼性多重露光方式採用
日立独自の超高速RIP（SRC※1）を搭載
基板の伸縮に合せた高精度露光を実現
(※1 SRC：Super Real-time Controller) |
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| 高品質・高精細パターン描画の実現 |
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| ■レーザートリミング装置 |
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高速高精度レーザトリミングマシン
受動部品内蔵化に効果 基板サイズ対応機 |
| レーザ加工機で培った高剛性サーボ技術搭載で高精度加工を実現 |
| マウス操作で機械オペレーションが可能な最新のマン・マシンインターフェイス |
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| ■チェッカー治具加工装置 |
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プリント基板加工機と工作機を融合し高剛性、
高精度加工を実現
乾式/湿式加工で幅広い治具加工に対応 |
| バリ無し加工サンプル |
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| 入り側 |
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| 出側 |
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